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规格参数：
1、样品最大尺寸：AS-master：8-inch，Up to 200 mm diameter；
2、温度范围：AS-master室温~1450 ℃；
3、升温速率：AS-master ：0.1 ℃~150 ℃/s ；
4、温度控制：快速数字PID控制；
5、热电偶：2个K型热电偶；
6、低温高温计温度范围：150℃~1100 ℃；
7、高温高温计温度范围：400℃~1500 ℃；
8、工艺气体气路配质量流量计（MFC）4路：氮气、氩气、混合气体、氧气；
9、配置分子泵及真空规，真空度达10-6hPa；
10、红外卤素灯管加热，冷却采用风冷（低噪音水平，无需压缩空气）；
11、加热由功率控制而非电压控制，避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题，保证了良好的重现性及均温性，即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到最初的热处理效果；
12、石英腔体，腔体冷却采用水冷，冷壁设计，双层不锈钢；
冷壁水冷技术优点在于：1、无记忆，2、工艺重复性高，3、冷却速度快；
13、反应腔室的设计，气体的进入口设计在wafer的表面，避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性；
14.安装条件：Voltage : 3x400V+N+Gr
Power : 75 kW, 90 kW or 105 kW
Water : 2 to 4 bars, pressure drop 1 bar, 30 to 50 l/mn
Compressed air : 6 bars (valve actuation)
Process gas fittings : double ferrule ¼ or VCR ¼ (option)
200天
1年
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