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阀芯材质：PEEK
阀体材质：SUS316L、N60、哈氏合金
通道数：4通、6通、8通、10通、12通、14通
耐压：0~0.7MPa （气体）；0~3MPa （液体）
加长杆规格：2"、3"、4"、6"
最高耐温：200℃
用于超纯气体进样
| 序号 | 项目 | 6/8/10/14通道 | |
| 1 | 流道孔径 | 0.4mm/0.75mm | |
| 2 | 接口规格 | 10-32UNF内螺纹 | |
| 3 | 阀体材质 | SUS316L、N60、哈氏合金 | |
| 4 | 转子材质 | PEEK | |
| 5 | 最大耐压 | 气体：100psi | |
| 6 | 最高耐温 | 200℃ | |
| 7 | 加长杆规格 | 2"、3"、4"、6" | |
| 8 | 驱动方式 | 气动、电动 | |
| 9 | 气缸驱动压力 | 30-80psi | |
| 10 | 工作电压 | 24VDC±10% | |
| 11 | 通讯接口 | RS232、RS485 （波特率 19200bps，默认地址01）（电动） | |
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