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对于半导体、金属、高分子材料等广泛的样品,从宏观分析、微观分析、深度分析,或从元素分析到状态分析,都可做多方面评价的ESCA/Auger的复合表面分析装置。
●XPS灵敏度:11800Kcps(1.30ev,MgKa)400Kcps(0.55ev,单色器) ●AES灵敏度:500Keps,S/N500:1
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