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涡轮分子泵组
仪器简介：
系统由F系列涡轮分子泵、前级旋片泵或罗茨泵、阀门、管路、支架等组成。
主要特点：
· 理想的动平衡，震动和噪音小。
· 陶瓷轴承使用寿命长。
· 无油，不会产生碳氢化合物。
技术参数：
型号 极限压力(Pa) 抽气速率(L/s) 涡轮分子泵 前级泵
AF-150/450 10-4 10-6 450 F-150/450 2X-8
AF-250/1400 10-4 10-6 1400 F-250/1400 2X-30
AF-400/3500 10-4 10-6 3500 F-400/3500 2X-70
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