该系列产品应用特定的热传感器和控制电路,保证的测量的高准确度,允许在更广泛的操作条件下获得更精确的数据。
质量流量控制器被广泛应用于半导体工业及其他工业领域。传感器设计为糙面,容易使用。
应用范围:
所有工业行业
精确的气体混合&分析
表面处理工业(PVC,CVD反应堆等)的气体注射
半导体工业
组分泄露探测
研发
高压工业
光纤
燃料电池(油箱)
反应堆系统
气体混合系统
实验室
产品型号: M3100V
流量范围(N2): 25slpm ~ 120slpm
响应时间: ≤3秒
准确度: ≤±1% 满量程
重复精度: ≤±0.25% 满量程
输出输入信号: 0~5 Vdc
供电 : ±15Vdc,350毫安
耐压: ≤90 bar
工作环境温度: 0~50 °C
产品型号: M3100A
流量范围(N2): 25slpm ~ 120slpm
响应时间: ≤3秒
准确度: ≤±1% 满量程
重复精度: ≤±0.25% 满量程
输出输入信号: 0~5Vdc或4~20毫安
供电 : ±15Vdc,350毫安
耐压: ≤90 bar
工作环境温度: 0~50 °C
测量原理:
气流被一个分层气流支路恒速分流,气体分子通过传感器。携带热量的下行气流在RTD之间产生一个温差,这个温差同质量流量速率成比例。
优势:
质量流量检测
不因为温度和压力的波动而失准
方便型的流量控制系统
高准确度
耐高压(90bar)
快速的响应时间
高重复精度
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