EBSD系统

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电子背散射衍射系统（EBSD）是一种材料分析技术，主要用于研究固体材料的晶体结构、晶粒取向和局部应变等性质。 EBSD系统通过在样品表面照射电子束，使得部分电子被样品内部的原子散射，然后这些散射的电子再经过一系列衍射过程，最终聚焦成像到探测器上。通过探测器捕获的图像，可以得到样品表面上各个位置的晶体取向和晶体结构信息。 EBSD技术可以用于对材料的微观结构和性能进行非破坏性检测和分析，广泛应用于材料科学、地质学、工程学等领域。同时，EBSD技术也可以与其他分析技术相结合，如扫描电镜、能谱分析、透射电子显微镜等，从而更全面地了解材料的性质和结构。