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- 主机650×720×700mm³
- 0~22mm
- 精度 ≤ 1 μm
MetronLens，超构透镜光学检测系统
“光场 + 相位 + 远场” / 全面表征 / 简单易用
MetronLens 超构透镜光学检测系统 是一款面向超构透镜、超构表面、微透镜阵列等平面光学元件的专用光学检测系统。 该系统综合了显微成像技术、离轴数字全息技术以及远场成像技术等多种先进技术，可实现光场分布、相位分布和远场分布的原位检测，深刻揭示超构表面、超构透镜、微透镜阵列等平面光学元件的内在物理特性，为验证设计的准确性、制备加工工艺的优化提供了强有力的检测工具。
MetronLens 超构透镜光学检测系统
典型应用领域：
超构表面(Metasurface) 是一种由亚波长的微纳结构组成的平面结构，可以高自由度的对光波进行调控和操纵，因此超构表面的研究需要测量它所调控的光场分布和相位分布。
微透镜阵列(Microlens Array，MLA) 是由尺寸只有几十微米和数百微米的微型透镜构成的阵列，因此微透镜阵列的研究需要微米尺度的单透镜检测能力。
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE) 是基于光的衍射效应而设计的光学元件，核心是对光的相位进行调制，需要高分辨率的相位测量。
MetronLens 超构透镜光学检测系统 在以上领域的应用得益于如下几个创新点：
1 毫秒级相位检测：MetronLens 基于“微型透镜检测系统及其检测方法”发明专利和离轴外差干涉技术，在显微体系下实现了毫秒级相位分布检测，相位分辨率可达 50mrad；
2 高空间分辨率：采用优异光学设计，结合大NA（大于 0.75）高倍率的成像系统和高像素数探测器，确保大视场下空间分辨率可达 0.6μm；
3 高精度 z 轴扫描：配有三轴全闭环超高精度电控位移台,能够轻松实现 0~22mm 行程的光场扫描，z轴扫描定位精度最小可达到 ±1μm；
4 多波长测试光源：系统内部最多可集成 457nm、532nm、660nm 三种连续激光光源，可满足多样化的波段测试需求，并支持其他光源外部扩展。
注：以上参数如有差异，以官网为准。
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一种利用显微角分辨光谱系统对透镜类样品进行聚焦能力表征的方法其他 2020-03-18
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否
有
1人次培训
1年1次
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