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进口等离子体表面处理仪
13.56MHz
0~500W
Φ 150 mm*320mm
4~15L
石英
2路
自动
Pico 等离子设备能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Pico 等离子系统一同使用的最常见的选装件。Pico 等离子系统主要应用于以下领域：
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
规格，参数：
系列 | Pico系列 |
控制系统 | 半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 4~15L |
真空腔室 | 圆形不锈钢件，配有盖子 矩形不锈钢件，配有铰链的门 配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 |
电极 | 单层或多层 RIE |
样品支架 | （选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本） |
计时器 | 数字型 |
高频电流发生器 | 40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
电源 | 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位 |
其他选项
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
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| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 武汉华工正源光子技术有限公司 | 2018-05-31 |
| 苏州全磊光电有限公司 | 2017-01-02 |
| 嘉兴半导体研发中心 | 2016-12-29 |
| 西安域视光电科技有限公司 | 2016-11-15 |
| 成都电子科技大学 | 2016-12-20 |
| 清华大学 | 2016-07-14 |
1年
否
无
现场操作培训
1年1次
免费更换部件，玻璃制品和耗材除外
24~48小时到达现场进行维修
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