报价 ¥80万 - 100万
NS3600三维激光共聚焦显微镜
NS-3600是一款精确可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM),特别为实验室使用性能而设计。它利用一种非常直接的算法,从一系列光学切片图像中提供目标物体的三维形貌,这种算法将截面图像直接转换为三维轮廓数据。这种独特的原始横截面图像具有直观
描述,使得表面轮廓数据明显优于其他光学技术
Features & Benefits(性能及优势):
高分辨率非破坏性光学三维测量
实时共焦成像
多种光学变焦
同时进行亮场和共焦成像
自动获取最佳聚焦位置
倾斜补偿
简易分析模块
精确可靠的高速高度测量
通过半透明基板检测特征
无样品准备
大范围图像拼接检测
Application field(应用领域):
NS-3600是测量高度、宽度、角度、面积和体积的一种有效的解决方案,例如:
-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案
-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析
Specifications:
Model | Microscope NS-3600 | 备注 | ||||
物镜倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
观察/ 测量范围 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | ||
工作范围: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | ||
数值孔径(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | ||
观察/测量光学系统 | 针孔共聚焦光学系统 | |||||
高度测量 | 测量扫描范围 | 10mm | ||||
显示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重复率 σ | 0.02 μm | 注1 | ||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 0.001 μm | ||||
重复率 3σ | 0.03 μm | 注 2 | ||||
帧记忆 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | ||||
单色图像 | 12 bit | |||||
彩色图像 | 8-bit for RGB each | |||||
高度测量 | 16 bit | |||||
帧速率 | 表面扫描 | 20 Hz to 160 Hz | ||||
线扫描 | ~8 kHz | |||||
激光接收元件 | PMT (光电倍增管) | |||||
光学观察光源 | 灯 | LED | ||||
光学观察照相机 | 成像元件 | 彩色图像 CCD 传感器 | ||||
记录分辨率 | 1296x966 | |||||
数据处理单元 | 专用 PC | |||||
电源 | 电源电压 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | ||||
电流消耗 | 500 VA max. | |||||
重量 | 显微镜 | 大约. ~50 kg (测量头大约: ~12 kg) | ||||
控制器 | ~8 kg | |||||
隔振系统 | 气浮隔振 | Option |
注1:100次测量标准样品(1μm高度) 100 x/ 0.9物镜。
注2:100次测量标准样品(5μm 间距) 100 ×/ 0.9物镜。
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