• 上市时间:2021年5月
  • 创新点:(1)唯一通过了SEMIS2标准认证(SEMI标准是指半导体制造装置、平面显示屏装置以及材料厂商构成的行业团体的行业规范。在半导体行业实际上等于国际标准的效力)的国产质谱仪,符合半导体行业的检测和生产安全和性能需求; (2)以自有技术攻破壁垒、解决“卡脖子“问题,自主研发的LabMS3000ICP-MS,具有高性能冷焰模式、半导体行业专用提取透镜组,检出限性能达到了国际高端质谱仪器同等水平,配备低背景的PFA进样系统,半导体控温雾化室,多种在线检测所需的气体压力和温度监控等配置,正是聚焦和深度开发符合国内特殊行业(如半导体)的检测和生产需求的产品。 (3)3000型质谱仪与国产的动态薄层自动提取设备联机,为半导体行业的生产企业提供晶圆表面污染提取的在线检测仪,整套设备真正实现了国内研制和生产的“国产化”。
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