薄膜厚度测量系统-MProbe Vis-天津瑞利-Semiconsoft
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Semiconsoft-薄膜厚度测量系统-MProbe Vis
产品型号：MProbe Vis
产品介绍：MProbe Vis薄膜测量系统是紧凑且多功能的台式系统。它可以测量不同基板上10nm – 150μm厚度范围的半透明薄膜。而且，它经济且易于使用。MProbe Vis（X） 的生产版本设计用于承受振动并使用 LAN 连接 24/7 全天运行。它可用于在线和OEM应用。它与洁净室环境兼容。MProbe20 VisX系统是MProbe20 Vis系统的一个版本，在更长的波长（>700nm）下具有更高的灵敏度。
性能特点：
经济且易于使用
参数：
产地：美国
波长范围（可用）：400-1000nm（典型校准范围：380-1050nm）和VisX的450nm -1050nm
波长分辨率：< 1nm，20μm狭缝（整个光谱均匀）
厚度范围 ： 10nm – 150 μm
精度/重复性：<0.01nm 或 0.02%
精度：<1nm或0.2%
测量光斑尺寸：< 1mm（标准）
最小数据采集时间：10 μs
光源：5W TH灯，使用寿命10000小时（可选：20W TH灯，使用寿命2000小时）
通信接口：USB和1Gb LAN
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利用MProbe Vis系统进行光刻胶厚度测量半导体 2024-04-18
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