ICP-OES法测定碳化硅粉末中的微量元素含量

2021/09/25   下载量： 2 次

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应用领域 电子/电气
检测样本 电子元器件产品
检测项目 化学性质
参考标准 GB/T 37254-2018《高纯碳化硅 微量元素的测定》

ICP-OES抗基体能力强，精密度高，分析速度快；ICPE-9820垂直炬管设计，可有效减少样品残留和防止炬管积碳积盐，适用于碳化硅中元素成分分析测定；轴向和径向双向观测可以实现外加剂中高低含量元素的同步测定。ICPEsolution软件具有软件后添加功能，可以实现最有波长推荐，并进行数据诊断。

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ICP-OES抗基体能力强，精密度高，分析速度快；ICPE-9820垂直炬管设计，可有效减少样品残留和防止炬管积碳积盐。本文参考GB/T 37254-2018《高纯碳化硅 微量元素的测定》，使用岛津ICPE-9820型电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）分析了碳化硅中多种重金属元素的含量。分析结果显示，该方法各元素检出限为0.005~27.125 mg/kg；相对标准偏差（RSD）0.13%~5.51%，重复性良好，样品加标回收率为90.1%~106%，该方法适用于碳化硅中多元素含量的测定。    


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文献贡献者

岛津企业管理（中国）有限公司
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