利用 Cary 全能型测量附件深入研究薄膜响应 —解决光谱振动问题

2016/07/01   下载量： 2 次

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应用领域 材料
检测样本 薄膜材料
检测项目
参考标准 -

关于此项工作的更多详细信息首次发表于 Optics Express 16129，2012 年 7 月2 日，第 20 卷，14 号。 高质量多层光学镀膜的设计师和制造商需要使用可靠的方法来准确测量薄膜材料的光学常数。他们通常使用紫外-可见-红外分光光度计测得样品在标准入射和接近标准入射情况下的透射率 (T) 和反射率 (R)。了解所生成数据的准确性和任何误差的来源（随机或系统）将可以得到更可靠的样品表征数据 。 测量数据集中每一个点的随机误差（随机噪音）都会有所不同，文献指出，随机误差对于表征结果影响很小。但是，系统误差一般来说会造成光谱表征偏移，或导致 T 和 R 曲线的大幅度波长变化，尤其对于薄膜参数精确测定的影响更为显著。

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总消耗谱的振荡原因之一来自薄膜样品厚度的不均匀。不过，与测量透射率和反射率时入射角 (AOI) 的误差相比，此类误差的影响较小。AOI 误差可以使用配有先进分光光度测量附件的 Cary 5000 紫外-可见-近红外分光光度计进行消除（由安捷伦科技研制）。UMA附件是一个可变角度镜面反射和透射系统，不需要移动样品或照射到样品上的入射光即可得到 T 和 R 数据。

本报告中展示的结果显示在消除了入射角差异之后，残留振荡已经非常细微，并且与理论值有极好的一致性。这一结果证实，凭借这款能在所研究样品同一位置测量 T 和 R 的仪器，样品厚度不均一对总损耗没有任何影响。安捷伦最新推出的多角度分光光度计可为研究人员表征薄膜提供更准确的光谱信息，见您前所未见。

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文献贡献者

安捷伦科技(中国)有限公司
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