方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 集成电路 |
检测项目 | 化学性质>元素分析 |
参考标准 | SEMI C30-1110 – Specifications for Hydrogen Peroxide |
采用 Agilent 8900 ICP-MS/MS 可使多种元素(包括 SEMI C30-1110 中规定的所有元素以及其他痕量元素)在高纯 35% 过氧化氢中均以亚 ppt 至ppt 级测出。在 0 ppt 至 50 ppt 浓度范围获得了出色的线性校准曲线。几乎所有元素均获得了亚 ppt 级定量结果,其余元素具有几个 ppt 的检测限(除Si 以外,其检测限为 25 ppt)。在持续 3 小时40 分钟的高纯 35% 过氧化氢样品分析序列中,加标分析物在 10 ppt(S 为 100 ppt)浓度下获得了 1.0%–8.1% RSD 的重现性。结果证明 Agilent 8900 半导体配置 ICP-MS/MS 仪器适用于高纯半导体级试剂和制程化学品的常规分析
采用 Agilent 8900 ICP-MS/MS 可使多种元素(包括 SEMI C30-1110 中规定的所有元素以及其他痕量元素)在高纯 35% 过氧化氢中均以亚 ppt 至ppt 级测出。在 0 ppt 至 50 ppt 浓度范围获得了出色的线性校准曲线。几乎所有元素均获得了亚 ppt 级定量结果,其余元素具有几个 ppt 的检测限(除Si 以外,其检测限为 25 ppt)。在持续 3 小时40 分钟的高纯 35% 过氧化氢样品分析序列中,加标分析物在 10 ppt(S 为 100 ppt)浓度下获得了 1.0%–8.1% RSD 的重现性。结果证明 Agilent 8900 半导体配置 ICP-MS/MS 仪器适用于高纯半导体级试剂和制程化学品的常规分析
单克隆抗体的高分离度、高通量体积 排阻色谱分析
采用液相色谱-四极杆串联飞行时间高分辨质谱分析锂电池中的碳酸酯有机溶剂组分
使用 Agilent 5800 ICP-OES 测定固态 电解质锂镧锆钽氧 (LLZTO) 中的 主量元素
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