方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | / |
高纯石英砂作为一种重要的新材料,广泛应用于集成电路、半导体芯片、光伏、光纤等高端制造行业中。其中,半导体和光伏是对高纯石英砂需求最大的两个行业。高纯石英砂在光伏行业中主要用于制作石英坩埚,在半导体行业中主要用于晶圆生产中的扩散和刻蚀工艺设备部件。
本文介绍了一种使用 Agilent 7900 ICP-MS 检测高纯石英砂中的痕量杂质元素含量的方法。该方法灵敏度高且准确度出色,可满足光伏及半导体行业对高纯石英砂材料中杂质元素分析的需求。
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