方案摘要
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卓立汉光Helios 光致发光影像测试系统可以快速测量晶体硅的绝对少子寿命,并同时得到表征材料缺陷分布的二维影像。在太阳电池片生产流程中,这些信息可以用于进料在线筛选和制程工艺监控,从而使每一个制程都最优化。通过测量校正过的光致发光影像,可以定量测量太阳电池原材料的缺陷分布和杂质含量水平。
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