| 型号： | Zepto |
| 产地： | 德国 |
| 品牌： | Diener |
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德国Diener公司是等离子体技术领域的创新公司，同时还是低压等离子设备、等离子体高频发生器和常压等离子体生产领域的国际市场领先者。公司的技术极其成熟，而且取得了巨大的成功，从而保证了持续性全球化扩张。Diener每年建造约500个等离子系统，世界范围内已销售了约6000个系统。
应用领域：
等离子体应用可分为四种：清洗、活化、刻蚀及涂层。例如：
? 小型和微型部件的精密清洗
? 在胶结、上漆之前对塑料部件进行活化。
? 蚀刻和去除部分诸如聚四氟乙烯，光刻胶等之类的各种材料。
? 对具有类似聚四氟乙烯涂层、阻隔涂层、疏水性和亲水性涂层、减摩擦涂层等的部件进行喷涂处理。
产品特点：
1、 可以更灵活的操作，简便的改变处理气体的中类和处理程序；
2、 不会对操作人员的身体造成任何伤害；
3、 其成本对于等离子体处理方法来说是微不足道的。
产品参数：
1、 紧凑的台式设备、可调节的RF 功率。
2、 功率为无极变速可调。
3、 样品腔：硅硼玻璃，长300mm，直径105mm；舱盖可拆卸。
4、 应用最大到100W 的射频线圈
5、 常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等
6、 通过针阀连接两个气体通道无电磁阀开口
7、 整机尺寸： W425mm*H185mm*D450mm
| 用户单位 | 采购时间 |
| 中科院半导体所 | 2015/10/29 |
| 清华大学 | 2015/04/29 |
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