null匀胶机 SC100D_价格_微纳立方科技(北京)有限公司

Best tools 匀胶显影一体机 SC100D

参考价：¥1万 - 2万

型号：

SC100D

产地：

北京

品牌：

评分：

产品详情

Best tools 匀胶显影一体机 SC100D

图片

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简介

SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统，被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。

SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩，可配备四路喷淋系统，包括显影液和去离子水等，以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括：喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。

SC100D使用工业级伺服马达和PLC控制，7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用，可进行程控操作，具有优异的性价比。

规格参数

项目	参数
基板zui大直径	8英寸
转速	0~10000RPM可调
转速控制精度	1RPM
加速度	10-50000RPM/S（空载）
程序	可编程100组100步程序
运转zui大时长	3000S
时间设置精度	0.1S
显示	7”全彩触摸屏
机体材料	HDPE内腔，SUS外壳，耐溶剂PC透明盖

功能图解

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SC100D 外形尺寸

应用系统

PDMS芯片制作

MEMS器件加工

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