离子源 ECR125_价格_北京欧普特科技有限公司

产品详情

可调ECR离子源

图1 EC/A125

产品介绍

ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。在离子源内，等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时，电子会发生共振吸收，此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级），获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子，而电离出的电子很快也会发生回旋共振，撞击原子产生更多的电子，从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加，而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加，这使得等离子体的浓度得到很大提高。

1. EC125可调离子源用于外部法兰安装，使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源，配备特殊电网绝缘调节系统，在交变电场与永磁体的静磁场的作用下，等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR)。

2. EC125可调离子源使用功能陶瓷，维护方便快捷，工作寿命长（超过300小时），所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源，栅网系统有多种形状与材料，并拥有全方向节点机械调整系统（每个方向10 grd），方便实现**佳工艺适应。

技术规范
图2 带有PBN的 EC/A125

表1

参数	EC/A125	EC/F125
类型	法兰安装可调射频ECR离子源多孔径提取栅网	法兰安装射频ECR离子源多孔径提取栅网
源材料	放电管：Al₂O₃ 栅网：C或Mo 微波天线的真空分离：二氧化硅杯永磁体：NdFeB 外壳：不锈钢磁屏蔽：镀镍钢
栅网类型	2栅网或3栅网系统 2种不同焦距的标准系统
型号	插入深度：280 mm（无PBN）直径：220 mm（无PBN）	插入深度：135 mm（不带PBN）直径：220 mm（无PBN）
重量	14.5kg	11.5kg
法兰	DN 250	DN200
微波电源	~125 to 400 W at 2.45 GHz
离子电流	**大180 mA（取决于电网类型和运行条件）
离子能量	100 到 2000 eV
加速电压	0 –1000 V
过程气体	惰性气体，N₂（无限制） O₂和含卤素气体（栅极寿命缩短）
气流流量	5-20sccm 接头：1/8“Swagelock（空气和真空）
冷却水	1.5 l/min
接头	6 mm Swagelock

离子源 ECR125信息由北京欧普特科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于离子源 ECR125报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。除供应离子源 ECR125外，北京欧普特科技有限公司还可为您提供其他等产品，公司有专业的客户服务团队，是您值得信赖的合作伙伴。

供货周期：	两周
品牌：	IOT
货号：	012