| 型号： | CRX-6.5K |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | Lake Shore |
| 评分： |
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CRX-6.5K兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品的可靠性，为用户提供了一种低成本、通用的解决方案。它使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。它的多功能性和经济性使CRX-6.5K成为世界各地许多研究人员的首选工具。
I-V、C-V和微波测量在CRX-6.5K上是标准的。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。
CRX-6.5K可在8 K至350 K的温度范围内工作，并可选择扩展20 K至675 K的高温范围。该系统可容纳直径高达51 mm（2 in）的完整晶圆片和部分晶圆片。探针、测试电缆、样品座和选件的广泛选择使其能够满足多种特定的测量应用。
设备参数：
| 温度范围 | |
| 安装2个探针臂 | 基础温度8 K，控制范围8.5 K ~ 350 K |
| 安装4个探针臂 | 基础温度9 K，控制范围9.5 K ~ 350 K |
| 安装6个探针臂 | 基础温度10 K，控制范围10.5 K ~ 350 K |
| 安装PS-HTSTAGE选件（与样品背面偏压不兼容） | 基础温度20 K，控制范围20 K ~ 675 K |
| 温度稳定性 | |
| 基础温度 (无加热控制) | 未说明 |
| <10 K | ±25 mK |
| 11 K ~ 350 K | ±10 mK |
| 351 K ~ 675 K | ±50 mK |
| 真空 | |
| 室温 | <5×10-4 Torr |
| 基础温度 | <1×10-5 Torr |
| 最高温度 | <5×10-5 Torr |
| 循环时间 | |
| 总循环 | 6.25 h |
| 抽真空 | 0.5 h |
| 探针台冷却 | 3.5 h |
| 探针台升温 | 2.25 h |
| 样品 | |
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) |
| 样品背光接口 | 不可选 |
| 样品旋转 | 不可选 |
| 样品振动 | ＜2 μm |
| 探针配置 | |
| 最大探针数 | 6 |
| 探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 |
| 冷却探针支架 | ＜20 K(样品在基础温度下) |
| 探针支架 | 连接样品台热沉 |
| 探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 |
| DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 |
| 微波探针 | 频率范围从DC到67GHz |
| 光纤探针 | 可用于电光测量 |
| 落针范围 | 所有探针均可在直径为25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 |
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