JS-1600小型离子溅射仪安装指南

2011-10-11 09:17  下载量:59

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小型离子溅射仪的主机,它控制工作室内的真空和向离子溅射单元提供电源及真空保护,以保证仪器能正常工作。 电源指示灯:指示电源 针 阀(充气阀):向工作室内充气,以调节溅射电流的大小。 真空指示表:指示真空度 电流表:显示溅射电流值 单位(mA)。 定时开关:控制溅射时间。 手动溅射按纽:进行手动溅射操作 溅射电流控制按纽:调节溅射电流大小。 主电源开关:控制仪器的电源通断及机械泵。

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