中镜科仪硅片晶圆基底耗材其他电镜配件_价格

产品详情

单晶硅片参数
生长方法	直拉CZ
直径与公差 (mm)	50、75、100 ± 0.2
型号/掺杂剂	P型/硼 N型/磷、砷、锑
晶向	<100> / <111>
电阻率 (Ω.cm)	1-50
径向电阻率变化 (%)	P< 6 N型< 25
氧含量与公差	5.0-7.8 × ± 0.5
径向氧含量变化 (%)	< 5
碳含量 (at)	≤ 2.0×
金属铁含量 (at)	≤1.0×
表面金属 (at)	铜 / 铬 / 铁 / 镍≤ 5.0× 铝 / 锌 / 钾 / 钠 / 钙≤ 2.0×
厚度 (微米)	300-500
厚度公差 (微米)	±20
总厚度变化 TTV (微米)	< 2.5
平整度 TIR (微米)	< 1.2
局部平整度 STIRmax (微米)	< 0.3
翘曲度 (微米)	< 30
颗粒 (# per wafer)	< 30 (for size > 0.2微米)

以上参数仅供参考，由于硅片每批到货参数都不相同，并且会有新老库存交替情况，发货前可向客服确认，现有库存硅片的具体参数。

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供货周期：	现货
品牌：	中镜科仪
货号：	BZN100 \| BZP100 \| BZN111 \| BZP111

中镜科仪 硅片晶圆 基底耗材 其他电镜配件

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