大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术3-3

2008/10/10   下载量: 16

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3.3 不同金刚石粉颗粒尺寸对磨削速率的影响 通过之前的研究结果可以知道,在同一个转速对不同的金刚石粉颗粒的磨削能力进行 评价是不合适的,因为每一种颗粒都会对应一个合适的转速。所以选用颗粒为200/230 和 140/170 的金刚石粉在转速分别为30r/min、35 r/min、40 r/min 时进行研磨2 小时。选用颗 粒为140/170 和100/120 的金刚石粉在转速为20 r/min、30 r/min 时进行研磨2 小时,不同 金刚石粉的颗粒尺寸对磨削量的对比图如图3 所示。 0 5 10 15 20 25 30r/min 35r/min 40r/min 200/230 140/170 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20r/min 30r/min 140/170 100/120 图3 不同金刚石粉颗粒尺寸对磨削速率的影响 Fig.3 The effect of the different grain sides of the diamond powder on the polishing speed 从图3 可以看出,不同的金刚石粉颗粒尺寸对应有一个合适的转速,在这个转速下 的最大磨削速率才能体现出金刚石粉的磨削能力。根据之前的数据以及试验现象可以估计 200/230 的颗粒在35r/min 时有最大磨削速率,140/170 的颗粒在25~30r/min 会产生一个最 大的磨削量;100/120 的颗粒将在20~25r/min 之间产生一个最大的磨削量,因为试验数据 显示在10r/min 时磨削量下降且金刚石粉易内聚,20r/min 时金刚石粉的分布比较均匀。根 据文献[13]报导,金刚石粉对金刚石自支撑膜产生的磨削作用会有一个极值,也就是说同粒 度的金刚石粉只能达到一定的磨削量,达到之后时间增长或者转速增大,都不能改善磨削 效果。而在本试验中,不同的金刚石粉颗粒的最大磨削速率都在12μm/h 左右,所以不同 的金刚石粉颗粒需要找到其本身最好的匹配转速,达到之后的磨削能力相差不大。

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