方案摘要
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湖北武汉某电子厂纯水工艺 段在脱盐后及终端分配单元前安装了脱气膜工艺，在脱气膜后安装在线 510微量溶解氧分析仪，用于监测脱气膜后的溶解氧含量。
在半导体行业，纯水中 溶解氧 的含量 直接 关系到产品品质，若水质不良 会造成产品污染而影响品质。 半导体行业一般选用脱气膜去除溶解氧， 通过憎水纤维膜将液相和气相分开， 再将气相抽真空，使得气体被去除 ；此时 液相中的气体就会扩散到气相中，从而达到去除溶解气体的作用。
湖北武汉某电子厂纯水工艺 段在脱盐后及终端分配单元前安装了脱气膜工艺，在脱气膜后安装在线 510微量溶解氧分析仪，用于监测脱气膜后的溶解氧含量。
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