资料摘要
资料下载CMP 浆液在微晶片的制造加工中起到了非常重要的作用. 在微晶片平面工艺中,多个沉积抛光,光刻和蚀刻对于生产平面设备至关重要.但在每一个抛光阶段,都存在潜在的晶片损害的危险. 区分CMP浆液中颗粒的粒径分布,对于鉴定CMP浆液在被用作抛光工具前的质量条件,具有非常重要的意义,同时,可以预测是否会失败.颗粒物聚合会导致在储存罐中的沉降,使浆液老化,或者 剪切的浆液被泵到CMP的工具中. 粒径分布的变化可以显示早期的个体团聚,避免更大,更硬的团聚物生成. 由于设备功能要求32nm,因此,为了避免由于微划痕(50nm-100nm之间)导致的不稳定性和间歇性,区分粒径分布尤为重要.
Stratasys? F900? 3D 打印机说明书
简介:高性能 F900 3D 打印机深受全球制造业领导者的信赖,为可靠、较精确的 3D 打印树立了标杆。无论您要打印一整盘复杂零件还是单个大型零件,F900 总能为您能带来较精确的结果。
光电测量资料
简介:博源光电目前有以下几款光电测量装置:拉曼测量装置、激光测量装置、LED测量装置、膜厚测量装置、辐照度测量套件,感兴趣的请下载宣传页进行查看。
功率计资料
简介:博源光电目前有以下几个系列的功率计:光电功率探测器、热电堆功率探测器、积分球功率探测器,感兴趣的请下载宣传页进行查看。
光源资料
简介:博源光电目前有以下几个系列的光源:氘卤光源、均匀光源、LED光源、弧灯光源,感兴趣的请下载宣传页进行查看。
光谱仪资料
简介:博源光电目前有以下几个系列的光谱仪:微型光谱仪、高分辨率光谱仪、高灵敏光谱仪、近红外光谱仪、拉曼光谱仪,感兴趣的请下载宣传页进行查看。
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询