| 型号： | MX 604-ST |
| 产地： | 德国 |
| 品牌： | E+H Metrology |
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产品名称：晶圆厚度/电阻率测试仪
品牌：E+H Metrology
型号：MX604-ST
关键词：电阻率，厚度
一、简介
德国 E+H Metrology，简称E+H，成立于1968年，位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。厚度和电阻率测量仪组合，MX604-ST配置了同时测量厚度和电阻率的传感器，用于2“ 至 200mm 的晶圆电阻率和厚度测量。
二、技术规格
晶圆尺寸：2" 至 8" （方形或近方形）
厚度范围：60 - 300µm 或 250 - 750µm
厚度精度：±1μm
传感器直径：20 毫米
有效区域直径：8 毫米
距边缘的距离：10 毫米
测量时间：0.3秒
软件：EHMaster
方块电阻：10-2000Ω/sq
电阻率范围：
0.25 – 50 Ohm•cm (thk.= 250μm)
0.75 – 150 Ohm•cm (thk. = 750μm)
三、应用
用于硅片及SiC等晶圆的厚度和电阻率测量。
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