TEM用液体原位芯片

2015-08-13 09:30  下载量:2

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由于电镜需要真空环境的特点,正常情况样品只能做真空环境下静态电镜分析。运用新技术生产的液体芯片可将待测液体样品封闭起来,并通过氮化硅薄膜窗口做动态观测。 基于氮化硅薄膜的液体原位芯片。它可以用作液体原位TEM观测。液体芯片由上芯片和下芯片组合而成,芯片中间有10×50μm氮化硅薄膜观察窗口,下芯片左右两侧各有一个液体滴加口。上下两枚芯片由密封胶粘合在一起,中间有一个微型液体腔室。 原位实验时首先在液体滴加口滴入待测液体,等待待测液体在浸润通过微型液体腔室并从另外一个液体滴加口渗出。再使用环氧树脂密封两个液体滴加窗口,待胶固化后即可进行原位液体观测。

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