方案摘要
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一、仪器基本功能介绍 1.微纳米划痕 载荷范围大,测量范围宽,适合多种薄膜。获得膜层结合力及划痕硬度。 伺服加载力反馈系统,时时进行力值反馈,消除表面的影响; 显微镜系统能够时时动态观察测试全过程; 提供声发射,摩擦力的测试模块,更加准确测定膜破裂的情况; 三维形貌仪能够对划痕进行定量(高度,宽度,体积,粗糙度等)微观分析,有助膜性能评价; CETR专利技术,微金刚石铲子(Patented micro-blades),能够提供符合ASTM G171-03标准的划痕硬度的测试,更能准确的评价薄膜的性能。 2.微纳米压痕 允许在同一仪器上使用相同或不同的压头,研究比较不同的硬度尺度,并且通过简易快速更换适配器,可以不需要移动样品。 符合ISO14577标准;获得仪器式硬度和杨氏模量。 采用世界领先的积分方法来确定样品的接触零点。 3.微摩擦磨损 通过独特的闭环的伺服机械系统实现准确动态加载,可以提供恒力加载模式、线性增量加载模式和通过软件实现对样品的任意动态加载模式。 提供原位检测:摩擦力、摩擦系数、负载、涂层深度等等。 提供磨损量的测量。 4.三维形貌仪 压电陶瓷大尺度SPM(scanning probe microscopy)技术,可以对样品进行大范围高精度扫描。 提供两种扫描方式fine mode和coarse mode。
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