激光扫描轮廓仪

参考价：¥100万

型号：	uscan custom
产地：	德国
品牌：	nanofocus
评分：

核心参数

产品种类：非接触式轮廓仪/粗糙度仪

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汽车气缸专用非接触三维表面测量系统

μsurf basic光学轮廓仪

KOSAKA LAB ET 5000台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)

产品详情

n 产品介绍

μscan系列机台采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。主要应用于材料表面的三维轮廓测量，粗糙度测量，宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品，而不用通过拼接。

μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。

CF4激光共聚焦传感器内，被照亮的小孔成像在被测量的表面，激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，只有当焦平面和真实表面的点配对的时候，探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动，使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术，该系统的精度能达到10nm以下。

n 应用

ü 集成电路封装和表面贴装：快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。

ü 厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量

ü 精密部件：测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等

n 技术参数

1. 测量原理：非接触，激光共聚焦

2. 扫描模块：

2.1 XY方向测量范围50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm（可选）,马达驱动

2.2 XY方向平台分辨率0.5um

2.3 Z方向位移范围100mm

2.4 最大测量速度50mm/S.

3. 传感器模块

3.1 共聚焦传感器，激光光源1.5 μm spot size，1 kHz data rate

3.2 Z方向分辨率0,02um

3.3 XY方向分辨率1um，可连续一次扫描成像，最大范围达到200mmX200mm

3.4 工作距离 4mm

3.5 Z方向测量范围1mm

4 系统配置

4.1 计算机：高性能计算机控制系统；

4.2 配有专业工作台，尺寸L1000 x H750 x W800 (mm)

4.3 可为CF传感器选配离轴摄像头(10X)，最大视野8 x 6 mm2

4.4 功能全面的软件
4.5 数据分析：轮廓测量、宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析

设备咨询联系人:
Ronnie Chen

电话：

激光扫描轮廓仪信息由上海巨纳科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于激光扫描轮廓仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。除供应激光扫描轮廓仪外，上海巨纳科技有限公司还可为您提供LynceeTec DHM-T数字全息显微镜等产品，公司有专业的客户服务团队，是您值得信赖的合作伙伴。

典型用户

用户单位	采购时间
上海技术物理研究所	2012/12/04
苏州奇梦达	2003/09/10
苏州西门子	2012/06/06