低TOC浓度分析的加压集成在线取样器（PiOS）

2019/02/21   下载量： 7 次

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应用领域 半导体
检测样本 集成电路
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Sievers* M9e 总有机碳（TOC）分析仪的 “加压集成在线取样器（PiOS，Pressurized Integrated On-Line Sampler）” 配件专用于加强微电子应用中的超纯水 （UPW）系统的有机物监测能力。在微电子应用中（TOC通常小于5 ppb），监测水质的微小变化至关重要，能够确保最终产品质量和优化处理工艺。

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Sievers* M9e 总有机碳（TOC）分析仪的 “加压集成在线取样器（PiOS，Pressurized Integrated On-Line Sampler）” 配件专用于加强微电子应用中的超纯水 （UPW）系统的有机物监测能力。在微电子应用中（TOC通常小于5 ppb），监测水质的微小变化至关重要，能够确保最终产品质量和优化处理工艺。


当要监测的浓度很低时，总碳（TC）和无机碳（IC）的值非常接近，因此TOC测量值（TOC = TC - IC）会受信噪等干扰因素的影响。周围环境中的微气泡就是这种干扰源之一，会导致意外的TOC峰值。PiOS能给分析仪中的样品加压3 - 5 psig，抑制气泡的形成，确保分析仪在低浓度下进行准确的分析。

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文献贡献者

Sievers分析仪（威立雅）
白金会员 丨 第12年
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