型号: | AVI-600 XL |
产地: | 瑞士 |
品牌: | 赫兹有限公司 |
评分: |
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主动减震台+HERZ
适用范围:为各类透射式电子显微镜(TEM)主动减震台、扫描式电子显微镜(SEM)减震台、发射式电子显微镜主动减振台、探针显微镜减振台、扫描隧道显微镜主动式减震台、原子力显微镜(AFM)主动式减震台、横向力显微镜主动式防震台。白光干涉仪,光刻机,微纳米结构和加工仪器提供主动隔振系统!AVI-600 为紧凑型的主动隔振系统,是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择,AVI-600 work station可自由选择整个系统的尺寸大小和配置,通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重(最大承重可至9000磅)。
工作原理
AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术,适用于任何科研环境下,该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动(包括水平方向和竖直方向),AVI系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等,方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。
产品特点
主动隔振频率 1Hz - 200Hz
被动隔振频率>200Hz
5-20ms的响应时间
安装简单,容易使用
稳定性高,能无故障连续使用多年
紧凑、模块化的多功能设计
SEM 、TEM
UHV-SPM 光刻
隧道显微镜
Fabry-Perot干涉仪
大型对振动敏感的仪器设备
性能优势
系统主动检测输入振动并动态消除
六个空间方向的自由隔振
系统内部反馈回路抑制所有机械共振
低频隔振性能优秀
无低频共振、无空气要求
兼容性:
AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。
用户单位 | 采购时间 |
华南理工大学 | 2015/04/07 |
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