主动隔振台成功为STM/SEM隔振

2019-06-03 09:54  下载量:2

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主动隔振台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统,用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动,以提高精密设备的性能,具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz,被动隔振频率>200Hz,其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中,主动检测输入振动并动态消除;允许自由选择整个系统的尺寸和配置,可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单,易操作,稳定性高,能无故障连续使用多年。

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