浅谈飞纳电镜能谱一体机在EMS工厂失效分析中应用检测仪器_检测方案

方案摘要

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飞纳台式扫描电镜能谱一体机在 EMS工厂中失效分析的主要应用为：放大观察样品表面缺陷、对缺陷部位进行点、线、区域、面扫等的元素定性半定量分析等。同时飞纳台式扫描电镜能谱一体机对工作环境无特殊要求，使用简便和六硼化铈灯丝的稳定性，也满足了工厂高效率的要求。

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随着手机、电脑等电子产品越来越智能化，更新迭代的速度也是非常之快，也就对内部设计要求越来越高，电子产品越来越精细，从而也加大了 EMS工厂生产中的难度。

这也迫使工厂在做检测时需要用放大倍数更大，景深更好的设备来控制生产中的工艺，必要时还需要分析污染物的元素定性，来追根溯源污染物的来源。传统光镜的放大倍数和景深已经无法满足当前 EMS 失效分析的要求。

飞纳台式扫描电镜能谱一体机最大可以放大 100,000 倍，分辨率可以达到 20 nm 以下，以及具有光学显微镜无法比拟的超高景深以及配套的能谱，能谱可以进行元素的定性半定量。

飞纳台式扫描电镜能谱一体机在 EMS工厂中失效分析的主要应用为：放大观察样品表面缺陷、对缺陷部位进行点、线、区域、面扫的元素定性半定量分析等。同时飞纳台式扫描电镜能谱一体机对工作环境无特殊要求，使用的简便和六硼化铈灯丝的稳定性，也满足了工厂高效率的要求。

总结，飞纳台式扫描电镜能谱一体机是 EMS工厂中失效分析非常高效率的工具之一。

文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员丨第11年

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