方案摘要
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SED和BSD已经是所有电镜中常用于成像的两种探头,相辅相成完成了各类形貌表征、衬度区分等。两种探头虽然在功能上有重叠的部分,但也有各自的优势,对于一套完整的扫描电镜而言,两者往往缺一不可。之前我们讨论过BSD相对于SED的优势,主要体现在直观的相区衬度差异和较低的真空要求。那么SED相对于BSD的优势呢?且看以下两组照片(使用飞纳台式扫描电镜拍摄):
SED和BSD已经是所有电镜中常用于成像的两种探头,相辅相成完成了各类形貌表征、衬度区分等。两种探头虽然在功能上有重叠的部分,但也有各自的优势,对于一套完整的扫描电镜而言,两者往往缺一不可。之前我们讨论过BSD相对于SED的优势,主要体现在直观的相区衬度差异和较低的真空要求。那么SED相对于BSD的优势呢?且看以下两组照片(使用飞纳台式扫描电镜拍摄):
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