全自动晶圆缺陷检查系统

2024-04-15 10:35  下载量:0

资料摘要

资料下载

在集成电路生产过程中,晶圆尺寸越来越大,芯片却越来越小,工艺越来越复杂,在生产过程会给晶圆引入各种表面缺陷。为了减少不必要的损耗,芯片在切片前必须进行检查,剔除有缺陷的芯片。本系统专用于切片前有图案晶圆的缺陷检查,为改进制造工艺提高良品率提供数据支持。

资料下载

文献贡献者

资料中心 更多

相关产品

当前位置: 仪器信息网 广州领拓 资料 全自动晶圆缺陷检查系统

关注

拨打电话

留言咨询