激光干涉仪是如何测量位移的

2024-06-12 10:13  下载量:0

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在本文中,我们介绍了目前国际上常用的激光干涉相关技术,详细法布里珀罗谐振腔原理,并以频率扫描干涉法(FSI)为例分析目前发展现状。

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