超平硅片

超平硅片

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品牌： EMS
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核心参数
海德创业（北京）生物科技有限公司
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产品详情

超平硅片（AFM、SEM用硅片）

常作为AFM基底片用在科学研究中，超平硅片的一些参数如下：


4"

6"

8"

直径

100 mm

150 mm

200 mm

向性

<100>

<100>

<100>

级别

P/Boron

P/Boron

P/Boron

Growth Method:

CZ

CZ

CZ

电阻率

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

厚度

525μm ±20μm

675μm ±20μm

725μm ±20μm

TTV:

<4.00μm

<4.00μm

<4.00μm

SFPD:

<2.0μm

<2.0μm

<2.0μm

Warp:

≤30μm

≤30μm

≤30μm

Bow:

≤30μm

≤30μm

≤30μm

微粒数

≤20@≥0.3μm

≤20@≥0.3μm

≤20@≥0.3μm

正面Front Surface

Polished

Polished

Polished

背面Back Surface

Etched

Etched

Etched

平整度Flat:

2 per SEMI Standard

1 per SEMI Standard

2 per SEMI Standard

Site Flatness:

<2.0μm

<2.0μm

<2.0μm

粗糙Roughness

Typically 2-3?

Typically 2-3?

Typically 2-3?

产品选购：

货号

产品名称

规格

71893-01

Ultra-Flat Silicon Wafer, 4"超平硅片

1片

71893-02

Ultra-Flat Silicon Wafer, 6"超平硅片

1片

71893-03

Ultra-Flat Silicon Wafer, 8"超平硅片

1片


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