型号: | DTN430C |
产地: | 日本 |
品牌: | 雅马拓 |
评分: |
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洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
最高工作温度360℃和500℃、洁净度100 级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100 级,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。
通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
安全性
拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检
测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏
电漏电保护开关等安装装置。
用户单位 | 采购时间 |
沈阳东软医疗系统有限公司 | 2017/03/08 |
上海泊燊医疗器械有限公司 | 2017/08/09 |
杭州巴泰医疗器械 | 2017/01/05 |
爱普科斯(珠海)有限公司 | 2021/02/09 |
美特科技(苏州)有限公司 | 2017/07/11 |
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