雅马拓等离子体刻蚀Tetra45_价格_上海尔迪仪器科技有限公司

Diener 等离子蚀刻机Tetra 8 RIE

参考价：¥20万 - 50万

型号：

Tetra45

产地：

德国

品牌：

雅马拓

评分：

应用领域：

共3个查看经典案例

产品详情

用途：

表面清洗活化

表面蚀刻

Tetra 8 RIE 产品特点：

适用于8”以下样品的处理

等离子蚀刻机，可实现快速且一致的样品表面刻蚀

全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布

电极水冷确保了样品的温度不会偏高

工业Windows控制系统，多段程序控制功能，实现一键蚀刻功能

适合于研究院、高校、研发中心等使用，也可小批量生产

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