型号: | bruker SmartProber-P1 |
产地: | 美国 |
品牌: | 布鲁克 |
评分: |
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布鲁克Bruker隧穿磁比率测量仪SmartProber-P1
——用于企业研发和故障分析中 300mm 晶圆应用的电动系统
·高垂直面
磁场
·可配置
设计和选项
·全晶圆覆盖
高达300毫米
·0.1-100 kΩμm2
RA 范围
这种类型的 SmartProber 有多种配置可供选择。如果需要高垂直场,但只需要测量小样品,则可以用更便宜的手动载物台代替自动晶圆载物台。
SP-P1 – 6kOe 磁体,300mm 旋转晶圆台
配置选项:
C:附加场强为 2kOe 的面内磁体模块
Y:200mm XY 晶圆台
M:用于小样品的手动晶圆台
L:10kOe 磁体
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