二氯硅烷类产品用于导电聚合物聚硅烷研究-

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二氯硅烷类产品用于导电聚合物聚硅烷研究-


二氯硅烷类产品用 于制造半导体,尤其是在外延法工艺中作为硅源。二氯二氢硅主要用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高, 二氯二氢硅沉积硅更有效,且淀积温度比其他氯硅烷低。采用二氯二氢硅在降低温度下沉积厚层所需时间大大低于采用硅烷所需时间。由于二氯二氢硅的沉积速率与 采用其他氯硅烷相比对温度敏感性小,因此可以采用调节氢气流中二氯二氢硅浓度的方法来控制沉积速率,而且不会出现鼓泡所带来的不准确性和机械问题。

二氯硅烷类产品用于甲硅烷基化剂,及合成硅的有机化合物

上海甄准生物提供二氯硅烷类产品用于导电聚合物聚硅烷研究。

产品信息:


货号品名英文品名CAS No.纯度规格
TOK-C1399二氯环己基甲基硅烷Dichlorocyclohexylmethylsilane.5578-42-7 >95.0%(GC)25g
TOK-D0358二氯二甲基硅烷Dichlorodimethylsilane.75-78-5 >98.0%(GC)25mL/100mL/500mL
TOK-D0362二苯基二氯硅烷Dichlorodiphenylsilane.80-10-4 >97.0%(GC)25g/100g/500g
TOK-D1976二氯二乙基硅烷Dichlorodiethylsilane.1719-53-5 >90.0%(GC)5g/25g
TOK-D21441,2-二氯四甲基二硅烷1,2-Dichlorotetramethyldisilane.4342-61-4 >95.0%(GC)5g/25g
TOK-D2348甲基癸基二氯硅烷Dichlorodecylmethylsilane.18051-88-2 >97.0%(GC)25mL
TOK-D2349甲基十二烷基二氯硅烷Dichlorododecylmethylsilane.18407-07-3 >95.0%(GC)25mL
TOK-D2469二叔丁基二氯硅烷Di-tert-butyldichlorosilane.18395-90-9 >95.0%(GC)5g
TOK-D2603二异丙基二氯硅烷Dichlorodiisopropylsilane.7751-38-4 >98.0%(GC)5g/25g
TOK-D2704二丁基二氯硅烷Dibutyldichlorosilane.3449-28-3 >90.0%(GC)5g/25g
TOK-D2710二氯二戊基硅烷Dichlorodipentylsilane.18037-39-3 >90.0%(GC)5g
TOK-D2712二氯二己基硅烷Dichlorodihexylsilane.18204-93-8 >90.0%(GC)5g/25g
TOK-D4336二氯二正辛基硅烷Dichlorodi-n-octylsilane.18416-07-4 >96.0%(GC)1g
TOK-H0855己基甲基二氯硅烷Dichlorohexylmethylsilane.14799-94-1 >95.0%(GC)25mL
TOK-O0264二氯(甲基)十八烷基硅烷Dichloro(methyl)octadecylsilane.5157-75-5 >94.0%(GC)25mL
TOK-O0265二氯(甲基)正辛基硅烷Dichloro(methyl)-n-octylsilane.14799-93-0 >97.0%(GC)25mL
TOK-P0790二氯(甲基)苯基硅烷Dichloro(methyl)phenylsilane.149-74-6 >98.0%(GC)25g/250g
TOK-T15901,1,2,2-四氯-1,2-二甲基二硅烷1,1,2,2-Tetrachloro-1,2-dimethyldisilane.4518-98-3 >98.0%(T)5g/25g

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