PLC全自动HMDS预处理真空烘箱系统的特点

2017-02-17 09:36  下载量:1

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PLC全自动HMDS预处理真空烘箱系统的特点 1、由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,该系统是将“去水烘烤”和HMDS预处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃~200℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。HMDS预处理系统箱体内外为316L专用不锈钢材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、处理更加均匀,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布气化更好的均匀性。 3、效率高,液态涂布是单片操作,本系统一次可以处理多达4盒的晶片,可处理2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片等。 4、更加节省药液,实践证明,用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多; 5、 更加环保和安全,整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染。 6、HMDS预处理系统带有可自动吸取添加HMDS功能,PLC触摸屏编程程式设定,一键完成作业。HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。

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