单晶硅片

单晶硅片

参考价:面议
供货周期: 现货
品牌: 裕隆时代
货号: 3574489
北京裕隆时代科技有限公司
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产品详情

 

生长方法:直拉CZ 

型号/掺杂剂: P/ N/磷、砷、锑

晶向: <100> / <111>

电阻率 (ΩNaN) 0.001-50

径向电阻率变化: (%) P< 6  N < 25

氧含量与公差:  5.0-7.8 × ± 0.5

径向氧含量变化 (%) < 5

碳含量 (at ) 2.0×

金属铁含量 (at ) :≤ 1.0×

表面金属 (at):铜 / / / 5.0×   / / / / 2.0×

厚度 (微米):按SEMI标准或用户要求

厚度公差 (微米) :±15或用户要求

总厚度变化 TTV (微米) < 2.5

平整度 TIR (微米) < 1.2

局部平整度: STIRmax (微米) < 0.3

翘曲度 (微米) < 30

颗粒 (# per wafer) < 30 (for size > 0.2 微米)

 

NP型硅片1英寸 100111晶向25/
NP型硅片2英寸 100111晶向25/
NP型硅片3英寸 100111晶向25/
NP型硅片4英寸 100111晶向25/

 

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