Instec 为探针台增加样品温控功能的解决方案

2015/08/28   下载量： 6 次

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应用领域 其他
检测样本 其他
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参考标准 通过CE认证

本方案能让平常只能在常温下进行样品电测试的探针台，增加样品温控的功能。这样有几个好处： 【一】成本低。在探针台上多加个高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘就能做温控条件下样品探针测试，相当于一个温控探针台； 【二】技术权威。Instec冷热台控温好，-190℃~600℃上下通吃，稳定性不差于0.05℃，台面温度低梯度，表面粗糙度低。台面能接地能电悬空，设备还能通3轴接口。这是出自美国名校科罗拉多大学的Instec其30年经验历史保证；

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文献贡献者

上海恒商精密仪器有限公司
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