TMC STACIS主动隔振器在抬高的钢支架上的隔振应用

2023/05/17   下载量: 0

方案摘要

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应用领域 半导体
检测样本 光电器件
检测项目
参考标准 /

自设计系统 钢支架支撑:系统放置在客户自行制作的钢支架上 隔振器的锁定:案例中要求对上下表面进行隔振器锁定,我们不建议对隔振器的顶部与客户台面之间进行锁定,但提供了隔振器与钢支架的锁定方案。

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配置单
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客户情况:

待隔振设备:用户自设计大理石系统

底座是钢架,钢架上放3个stacis  ,stacis上放的是负载

质量:1500kg


针对以上情况,森泉经过技术工程师和厂家评估提出如下要求:

1.钢支架需要灌浆固定到混凝土地面上。

2.钢支架需满足如下截图中的平面度和刚度要求。

3.钢支架的First resonance必须>200Hz。

3.地面需满足如下截图中的刚度要求。image.png

系统方案配置:

21-030-02 Statics

主动隔振系统(3个中负载的支腿+控制器+其他配件)

System with 3 medium load isolators 900-2100 lbs (410-955 kg) capacity per isolator;

Active degrees of freedom:6;

Active bandwidth:0.6Hz-150Hz;

Passive natural frequency: 18 Hz vertical and horizontal;

Effective active resonant frequency:0.5 Hz;

Isolation at 1 Hz:40%-70%;

Isolation at ≥2 Hz:≥90%;

Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction):0.3 sec

image.png

现场安装调试

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隔振器与钢支架之间的锁定

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TMC标准隔振性能:

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实际测量隔振效果(钢支架支撑对隔振效果有影响,但不明显)

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