磁控溅射靶材

磁控溅射靶材

参考价：面议
供货周期： 现货
品牌： Ted Pella
货号： 4809497
广州竞赢科学仪器有限公司
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产品详情

高纯度的金属溅射靶材适用于多种品牌的离子溅射仪： 包括PELCO®, Cressington, Agar, Bal-Tec, Bio-Rad, Denton, Edwards, Emitech, Emscope, Gatan, ISI, JEOL, LEICA, Polaron, Quorum, and SPI.这些磁控溅射靶材的直径分为60,57,54,50和19mm。

1、高纯60mm金属靶材：适用于Denton DESK II / DESK III / DESK IV/ DESK V, Edwards 150 B / SCANCOAT, Emitech K500/K550/K650和Emscope SC500离子溅射仪。

货号

产品描述

单位

91217

铜靶, 99.99% Cu (?60mm x 0.076mm)

块

91210

金靶, 99.99% Au (?60mm x 0.1mm)

块

91212

金钯合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (?60mm x 0.1mm)

块

91216

镍靶, 99.98% Ni (?60mm x 0.1mm)

块

91214

铂靶, 99.95% Pt (?60mm x 0.1mm)

块

91219

钯靶, 99.95% Pd (?60mm x 0.1mm)

块

91229

银靶, 99.99% Ag (?60mm x 0.1mm)

块

2、高纯57mm金属靶材：适合于 Agar, Cressington 108/208, Emitech SC7620/SC7610/K575X/K575XD, ISI 5400, JEOL JFC 1200/1300/1400/1600/2300HR, PELCO® Model 3, SC4/SC5/SC6/SC7, Polaron 5000/5400/SC7610/SC7620, Quorum Q150, 和 SPI Module/Super离子溅射仪

货号

产品描述

单位

8074

铬靶, 99.95% Cr (?57mm x 3.2mm) (208HR only)

块

91117

铜靶, 99.99% Cu (?57mm x 0.1mm)

块

8077

铜靶, 99.99% Cu (?57mm x 0.3mm)

块

91110

金靶, 99.99% Au (?57mm x 0.1mm)

块

8071

金靶, 99.99% Au (?57mm x 0.2mm)

块

91112

金钯合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (?57mm x 0.1mm)

块

91111

金钯合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (?57mm x 0.2mm)

块

91132-B

铟锡氧化物靶 , 99.99% ITO, In2O3/SnO2 90/10 wt % 背面有1mm 铜片, (?57mm x 3mm 总厚)(208HR only)

块

91120

铱靶, 99.95% Ir (?57mm x 0.3mm) (208HR only)

块

91124

铁靶, 99.5% Fe (?57mm x 0.12mm) (208HR only)

块

8073

钼靶, 99.95% Mo (?57mm x 0.25mm) (208HR only)

块

91116

镍靶, 99.98% Ni (?57mm x 0.1mm) (208HR only)

块

8079

铌靶, 99.95% Nb (?57mm x 0.25mm) (208HR only)

块

91119

钯靶, 99.95% Pd (?57mm x 0.1mm)

块

91114

铂靶, 99.95% Pt (?57mm x 0.1mm)

块

8076

铂钯合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 (?57mm x 0.1mm)

块

91115

铂钯合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 (?57mm x 0.2mm)

块

91118

银靶, 99.99% Ag (?57mm x 0.1mm)

块

91129

银靶, 99.99% Ag (?57mm x 0.3mm)

块

8075

钽靶, 99.95% Ta (?57mm x 0.3mm) (208HR only)

块

91123

钛靶, 99.6% Ti (?57mm x 0.2mm) (208HR only)

块

8078

钨靶, 99.95% W (?57mm x 0.25mm) (208HR only)

块

3、高纯54mm金属靶材，适合于Bal-Tec SCD005/040/050/500, MED10/20 和LEICA EM SCD 005/050/500, MED 020 离子溅射仪。

4、高纯50mm金属靶材，适合于Anatech/Technics Hummer I, II, III, Fullam EffaCoater 和 Fullam EMS-76离子溅射仪。

5、高纯38mm金属靶材，适合于Cressington 308HR离子溅射仪。

6、高纯19mm金属靶材，适合于Gatan Model 681 and 682 PECS 离子束溅射仪

镀非导电SEM样品时，如何选择相应靶材：

Gold黄金

优良的靶材，广泛应用于标准SEM镀膜。对于冷镀膜离子溅射仪(如Cressington 108auto)，对于热敏性样品几乎不会产生任何热量. 在高倍SEM下可看到颗粒尺寸. 

Gold/Palladium金钯合金

溅射率低于纯黄金. 与Au相比，Au/Pd 的颗粒更小,但由于其有两个峰，所以不是很适合EDS分析，也不是很适合热敏性物质镀膜。

Palladium钯

成本低，可用于中低放大倍数场合，具有更低的SE信号

Platinum铂金

具有比Au 或 Au/Pd更小的溅射颗粒。但溅射率更低。如果有氧气，则应力开裂的敏感性。有更高的SE产出。

Platinum/Palladium铂钯合金

颗粒大小与Pt差不多，但应力开立的敏感性较小。非常适合FESEM，但更适合高分辨率镀膜仪208HR.

Silver银

成本低，可用于中低放大倍数场合，颗粒比Au大. 适合于小型SEMs。与Au或Pt相比，SE产出更低。. 如果样品没有放在真空环境下，则镀膜表面易氧化. 可用于特殊的EDS工作.

Chromium铬

非常细的溅射颗粒，适合于 FESEM. 为避免氧化，需用于208HR一样的高真空镀膜仪。镀膜后的样品只能存放在高真空环境中. 溅射离子直线下落。适合生物样品的BE成像，溅射产率低。

Iridium铱

非常细的溅射颗粒，适合于 FESEM，需用于208HR一样的高真空镀膜仪，溅射产率低。

Tungsten钨

可替代Cr.颗粒非常细，但氧化非常快，溅射产率低。  

Nickel镍

可作为特殊的EDS应用, 不适合SE成像.适合BE成像，溅射产率低，镀膜易氧化。

Copper铜

适用于EDS. 适合中/低放大倍数场合，BE成像.

Note 1:铝的溅射产率非常低，对于SEM离子溅射不适用，且氧化非常快。
Note 2:碳最适合于EDS应用，但很难溅射。碳的蒸发产率非常好。


 

金靶种类选择

厂家

型号

60mm

57mm

54mm

50mm

38mm

19mm

AGAR

手动型离子溅射仪

X

AGAR

自动型离子溅射仪

X

Anatech/Technics

Hummer I

X

Anatech/Technics

Hummer II

X

Anatech/Technics

Hummer III

X

Anatech/Technics

Hummer Jr.

X

Bal-Tec

SCD 005

X

Bal-Tec

SCD 040

X

Bal-Tec

SCD 050

X

Bal-Tec

SCD 500

X

Bal-Tec

MED 10

X

Bal-Tec

MED 20

X

Bio-Rad

SC 5200

X

Bio-Rad

SC 502

X

Cressington

108 manual

X

Cressington

108 auto

X

Cressington

108/auto/SE

X

Cressington

208HR

X

Cressington

308HR

X

Denton

DESK II

X

Denton

DESK III

X

Denton

DESK IV

X

Denton

DESK V

X

Edwards

150 B

X

Edwards

Scancoat

X

Emitech

SC7620/SC7610

X

Emitech

K500X/K550X/K650X

 X

Emitech

K575/K575XD/Q150

 X

Emscope/Polaron

SC 502

X

Fullam

EffaCoater

X

Fullam

EMS-76

X

Gatan

681 Ion Beam Coater

X

Gatan

682 PECS Ion Beam Coater

X

ISI

ISI 5400

X

JEOL

JFC-1200

X

JEOL

JFC-1300

X

JEOL

JFC-1400

X

JEOL

JFC-1600

X

JEOL

JFC-2300HR

X

LEICA

EM MED 020

X

LEICA

EM SCD 005

X

LEICA

EM SCD 050

X

LEICA

EM SCD 500

X

PELCO®

Model 3

X

PELCO®

SC4

X

PELCO®

SC5

X

PELCO®

SC6

X

PELCO®

SC7

X

Polaron*

E5000

X

Polaron*

E5200

X

Polaron*

E5400

X

Polaron*

SC7610/SC7620

X

Quorum

Q150

X

SPI

SPI-Module™

X

SPI

SPI Super™

X

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