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脉冲激光沉积P180,脉冲电子束沉积机PED-180
日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000
英国HHV溅射镀膜仪BT150,BT300
英国HHV全功能镀膜机TF500/TF600
Auto306 英国HHV 多功能镀膜机
英国HHV科研用真空镀膜系统 Auto500,Ats500
美国Denton 金/碳镀膜机Vacuum
英国DENTON磁控溅射及电子束蒸发薄膜沉积平台
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OpAL 英国Oxford开放式样品载入原子沉积(ALD)设备
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