型号: | Manipulators FM |
产地: | 美国 |
品牌: | SINTERFACE |
评分: |
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Thermionics 真空操作台 线性操作台 二维操作台 三维操作台 机械手 真空三维机构 真空样品台
FM系列复合精密机械手是使用两个波纹管的XYZ单元。XY波纹管内径为2.5英寸,3英寸和4英寸,这是标准配置,内径可能达到6.3英寸内径。这些单位可提供±0.5“或±1”的X和Y行程。它们可以提供达到36英寸或再大一些的Z行程,标准的Z波纹管ID为1.39英寸和1.87英寸。
非旋转管状探针也可以在Z级基座的底部配备稳定的线性轴承。这样可以使探头组件更稳定,有效的“杠杆臂”更短。
该探头选件提供了一条无心,接地,空心的不锈钢管,该管穿过操纵器波纹管的中心延伸。该探头通过双面法兰安装在行进法兰上,可以轻松拆卸以进行设备安装。该管由安装在Z行驶系统底部的不锈钢线性轴承稳定。该轴承大大提高了探头的稳定性。
此外,可以将差动泵送的旋转密封件安装到这些机械手。它们为客户的设备提供了更大的旋转自由度。可以修改探针轴承,以允许探针极旋转以及极轴线性移动。该系统提供了一种出色的公用设施交付方法,而无需在真空中进行公用设施管线的移动。
X和Y行程±0.5英寸或±1英寸,圆形,标准
预装千分尺级耦合,
0.0001英寸微米划分大的鼓式千分尺(公制千分尺可选)
所有XY轴承可调
2英寸至36英寸Z行程
变速箱Acme驱动器,0.100英寸/圈(10圈/英寸)
0.001英寸刻度,预紧丝杠和蜗杆
位置锁定
扩展背架
6“ OD UHV基础法兰
2.75英寸外径行进法兰
整个过程中均采用硬化不锈钢轴承和导向杆
烘烤温度:<=200°C
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