磁控管

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美国Angstrom Sciences,ONYX® 磁控管,圆磁控管,高温圆磁控管

对于需要衬底长时间暴露在高热暴露下的应用，Angstrom Sciences 的高温圆形磁控管采用陶瓷绝缘体和真空密封进行了优化，使阴极能够在高温条件下保持性能参数。高温设计可在 200、300 和 450 摄氏度下运行。

高温圆形磁控管设计用于 10-9mTorr 系列，经过专门设计，可允许在整个热循环过程中可能发生的变化，而不会出现泄漏或薄膜质量偏差。

高温圆磁控管埃

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