蔡司多离子束显微镜ZEISS ORION Nanofab_价格_东莞市三本精密仪器有限公司

蔡司多离子束显微镜ZEISS ORION Nanofab

参考价：¥700万 - 1500万

型号：

ORION Nanofab

产地：

德国

品牌：

蔡司

评分：

产品详情

集 3 种聚焦离子束于一身的显微镜，可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工

快速、精确亚 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换：

氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工。
氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构。
备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。

特点

快速亚 10 nm 结构加工
使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细亚 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料，在亚 10nm 加工应用中 ORION NanoFab 均表现不凡。
集三种离子束显微技术于一体
使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用精确的氖离子束快速完成微加工，利用氦离子束加工精细的亚 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传统 FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化。
高分辨率成像
借助 0.5 纳米成像分辨率，它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）成像相比，其可获得 5 至 10 倍的景深并和更丰富的图像细节。

纳米加工

Orion NanoFab 拥有纳米加工和成像引擎 - 配有集成软、硬件的控制系统。纳米图形发生器（NPVE）为每个 NanoFab 镜筒提供了一台 16 位扫描图形发生器，以及支持实时图案加工和成像的双信号采集硬件。通过图形化用户界面（GUI）完全控制离子束：可创建一系列可编辑的形状，如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。然后，对这些形状进行矢量切割，并通过剂量和加工参数的调节进行完全的过程控制。

蔡司多离子束显微镜ZEISS ORION Nanofab信息由东莞市三本精密仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于蔡司多离子束显微镜ZEISS ORION Nanofab报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。除供应蔡司多离子束显微镜ZEISS ORION Nanofab外，东莞市三本精密仪器有限公司还可为您提供其他等产品，公司有专业的客户服务团队，是您值得信赖的合作伙伴。